Slit Door Air Pressure Controller

반도체 설비 챔버의 Slit Door에 대해 Open/Close 제어를 위한 장치

입력 및 출력 조건으로는 모두 Air Pressure를 이용 함 (공압 입력 채널 : 3ch / 출력 : 1ch)

Air Pressure 사용 범위는 0 ~ 100psi (0~0.7Mpa)

컴팩트하게 설계되어 소형화 구현으로 설비내 배치 용이 함

HF BULKFILL SYSTEM

정전 용량형 근접센서 적용
(철/돌/물/플라스틱 등의 다양한 물체 감지)

탱크내에 물의 높이를 자동으로 감지하여 Alarm을 발생하는 컨트롤 판넬

베이직(BASIC) 언어를 사용한 컨트롤러 적용

Laser Sensor Controller

LCD Glass Loading시 View Port를 통해 Base Unit 위에 0.7t Glass가 레이저 포인팅 레벨 아래로 지나가는 순간 서셉터 엣지에서의 X,Y축 Glass 거리를 측정하여 얼라인 유무를 판별함

NH3 GAS Detector

암모니아 가스 누출 감지 장치

C언어 프로그래밍 기반의 MCU 회로 적용

가스 감지 감도 설정 및 Alarm(Interlock) 출력

N2 Dilution Auto Control

상/하층 부간 RF통신 및 유선통신 지원
(유선가설 불가할시 RF통신 적용하나, 상시 자기 상태 모니터링 및 알림 MFC 상태의 상시 모니터링으로 사전 예방)

IC Marking Inspector

편리한 인터페이스의 글꼴 및 관리시스템으로 현장에서의 빠른 설비기능 안정화 Log, NG/OK Image, Count 관리로 설비 운용상태 파악 용이

Rotary Union Timing Belt Detector

반도체 장비의 회전체에 적용되는 부품으로써 타이밍 벨트의 끊어짐을 감지하는 컨트롤러

끊어짐 감지를 위한 Photo Sensor 2개 적용

Alarm(Interlock) 출력

Wafer Sensor Signal Converter

반도체 장비의 챔버(chamber) 내부에 오염 물질이 쌓인 정도를 감지하는 컨트롤러

오염 물질 감지를 위한 변위 센서 적용

C언어 프로그래밍 기반의 MCU 회로 적용

센서값을 설비에서 모니터링 할 수 있도록 실시간 신호 변환 수행 / Alarm(Interlock) 출력 / 버튼 입력 방식으로 범위 및 조건 설정 가능

Genus Gate Valve Interlock System

반도체 장비내에서 Gate On/Off 상태를 감지하여 Wafer가 충돌되는 경우를 개선하기 위한 컨트롤러

Gate를 감지하기 위한 Photo Sensor 2개 적용

Alarm(Interlock) 출력

RCS(Photo Process)

반도체 설비의 MAIN CONTROLLER(PC) 모니터, 키보드&마우스 신호를 사용자 PC로 LAN(TCP/IP) 통신을 통해 원격 제어하는 장치

원격 접속 방식은 1:1 / 1:N / N:N 모두 가능

현장 설비 관리 효율 증대 / 알람 발생 시 즉시 셋업 및 유지보수 용이

자체 개발 원격 제어 프로그램이며, 기능 추가 가능

Down Force(CMP Process)

반도체 CMP공정 Applied Material 장비의 구성품 중 Conditioner의 정밀 셋팅을 위한 계측 장비

사용 가능 하중 : 10Kgf

충전식 배터리 적용으로 휴대성 용이

단위 Kg / N / lb 변환 가능

MFC & GFM Controller

MFC(Mass Flow Controller)을 Control함으로써 자동 보정 및 고장 판별을 하기 위한 시스템 임

MFC 총 8대분 컨트롤 가능 (AI/AO 신호 제어)

PC(Note Book)로 각 채널별 실시간 수치 및 Graph Data 확인 가능

MODBUS 및 TCP/IP 통신 사용

USB 2.0 Data Back-up 지원

Client Program 제공으로 데이터 분석 지원

Head Leak Checker

300mm용 Wafer에 사용되는 Head에 대한 Pressure(가압) 및 Vacuum(진공) 테스트 시 Leak 검출하는 장비 (사용압력범위 : ±14psi)

Head 구조에 따른 6 or 8port(Zone) 검사용

실시간 검사 진행 모니터링 / 각 port(zone)별 세부 설정 / 데이터 로그 / 순차적 테스 방식 적용 / 자동 OKㆍNG 판단 / Alarm 출력

Wiper Sensing System

반도체 LED 제조공정 AIXTRON설비내 챔버 clean 작업 시 사용하는 wiper가 챔버 내부로 들어가지 않도록 하는 감지 장치

Phoro Sensor 반사판 방식으로 1개 적용

Alarm(Interlock) 출력

Wobbling DAQ System

반도체 LED 제조공정 AIXTRON설비의 챔버 내부에서 회전하는 원판 모형 부품의 Wobbling(흔들림) 정도를 측정하는 계측 장치

고속/고정밀 변위 센서 2개 적용(분해능 1μm)

실시간 측정치 모니터링 / 각 기능 설정 및 저장 / 데이터 로그

PLRS System

반도체 LED 제조공정 AIXTRON설비의 챔버내에 wafer 회전수(rpm)를 계측하는 장치

충전식 배터리 적용하여 무선 방식으로 측정

회전수(rpm) 측정하여 자체 메모리로 저장 후 Serial 통신 방식으로 PC로 DATA 전송

전용 프로그램을 이용하여 각 wafer에 대한 회전수 저장 및 분석

Wafer Alignment Detector

반도체 ETCH공정 설비의 LOAD LOCK에 안착 시 wafer가 정상적으로 위치하는지 감지하는 장치

wafer 유무 감지를 위한 photo sensor 2개 적용

Alarm(Interlock) 출력

Scan Position Detecting System

반도체 IMP공정 VARIAN VISTA설비의 wafer scan 진행 시 위치를 감지하는 장치

고속/고정밀 Laser 변위 센서 적용

C언어 프로그래밍 기반의 MCU 회로 적용

Alarm(Interlock) 출력

HD DVR & CAMERA

4/8채널 HD(1080p) 카메라 입력

Video 출력 HDMI(1920x1080) , VGA(1920x1080)

H.264압축방식 / 연속ㆍ움직임ㆍ센서ㆍ스케쥴녹화

녹화 해상도 (1280x720 48fps , 640x360 120fps)

네트워크 재생(H.264 640x360 60fps)

재생(4채널 HD 30fps, 8채널 HD 60fps)

HDD(SATA, e-SATA) 기본 2TB

Robot 단선체커기

Robot 케이블 점검을 손쉽게 할 수 있음

자체 배터리 전원을 사용함으로써 간단히 케이블 양단에 접속하여 끊어짐을 체크 함

케이블 끊어짐 시 표시 장치(C-LCD)를 통하여 끊어진 신호라인을 정확히 표기해 줌

체크 가능한 총 신호 라인 수 : 40 Line

케이블 신호라인에 대해 기억(저장)할 수 있어 신호라인 변경 시에도 사용 가능

Leakage Current Detector

반도체 DIFFUSION공정 TEL설비의 RF Generator 전원의 누설전류를 측정하고, 신호 변환하여 설비측에 전송하는 장치

클램프식 누설 미소 전류 측정기 적용
(최소단위 : 0.01mA , 측정범위:30mA/300mA/60A)

Light Pipe Check System

반도체 DIFFUSION공정 Applied Material설비의 챔버내에 반사판과 반사판에 고정되어 있는 Lighti Pipe의 단차를 정밀하게 측정하는 장치

고속/고정밀 레이져 변위센서 적용 (단위:1μm)

DATA 통신 전송으로 전용 프로그램에서 실시간 모니터링 및 다양한 설정 기능

2축 이송 가능하며, 고정도 LM GUIDE 적용

MKS / KITZ / APC / VAT / etc...
Valve Controller

각 제조사별 valve에 대한 open/close 제어, 온도 및 신호 측정

시리얼(RS232,422,485) 통신, Device Net(D-net) 통신 등 프로토콜을 이용한 제어

자체 개발 프로그램으로 인한 각종 Data 실시간 모니터링, 데이터 로그 및 자동 검사 장비

NIKON Manual Switch Remote Controller

반도체 설비의 MAIN CONTROLLER(PC) 모니터, 키보드&마우스 신호를 사용자 PC로 LAN(TCP/IP) 통신을 통해 원격 제어 장치

설비측 조작 버튼에 대한 원격 제어 가능

영상 컨버터 기능 (BNCㆍRCA → VGAㆍRGB)

원격 접속 방식은 1:1 / 1:N / N:N 모두 가능

설비관리 효율증대/알람 발생 시 즉시 확인 및 대응

자체 개발 원격 제어 프로그램이며, 기능 추가 가능

CLIS CONTROLLER

반도체 설비의 특정 부분에 온도 및 유량을 실시간 측정하여 설비측에 Data 전송하는 장치

K-type 온도 센서 6채널 , 유량 센서 6채널 가능

온도범위(0~100℃), 유량범위(2~16L/min)

터치스크린 적용으로 사용자 조작 용이

실시간 센서 측정값 표시 / 각 채널별 Alarm 기능 / 데이터 로그 / 각 기능 설정(config)

자체 개발 프로그램이며, 기능 추가 가능

RF Monitoring System

설치 및 운용 위치 변동의 자율성으로 활용도 증가 유선통신 대비 데이터 취득 스캔 시간이 느린 상태 감시용으로 적합

Wafer Broken Detector

Wafer 160여 장을 400~900℃로 가열하는 장비

공정 전 파형 데이터와 공정 후 데이터를 비교하여 깨진 Wafer 감지